按工作原理分类

气体输送泵：气体输送型的真空泵又可分为变容真空泵和动量传输泵，其中变容真空泵有往复式、旋片式等多种，动量传输泵有分子真空泵、喷射真空泵、扩散泵、扩散喷射泵、离子输运泵等多种。

气体捕集泵：包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵等。

按真空度分类

可分为粗真空度真空泵、高真空度真空泵和超高真空度真空泵三种，其中高真空度真空泵又有滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵三种。

按真空泵结构分类

机械式：类似于压缩机，属于容积型的有往复式与回转式结构，还有属于动力式的涡轮分子泵，都属于抽除式真空泵。

喷射式：有喷射泵与扩散泵两种，还有将二者组合在一起的增压泵，也都属于抽除式真空泵。

吸着式：依靠物理或化学方法使气体分子吸在泵壁表面，属于捕集式真空泵。

按真空泵在系统中的工作职能分类

主抽气泵：实现所要求压力的主要工作泵。

预抽气泵：当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时，需预抽泵先抽至某一压力，主抽气泵方能进入工作。

前级泵：当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时，需串接前级泵排送。

维持泵：当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后，由于系统泄漏或表面蒸发等原因，压力可能升高，因此用维持泵继续抽吸。