一、硅晶圆是什么
硅晶圆就是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
二、硅晶圆的特点有哪些
硅材料制作的晶圆具有高纯度、良好的机械加工性和尺寸稳定性,是制作半导体集成电路和光电子器件的重要材料。
1、高纯度
硅材料制作的晶圆具有高纯度的特点,可通过单晶生长和多晶熔轧等工艺获得。高纯度的晶圆可保证电子器件中的光、电、热性能,从而使器件具有更高的可靠性和长寿命。
2、良好的机械加工性
硅材料制作的晶圆具有良好的机械加工性能,可进行水切、磨削、玻璃喷砂等加工工艺。这一特点使硅晶圆可方便地进行精确的加工和制造,从而满足半导体行业对晶圆加工精度的要求。
3、尺寸稳定性
硅材料制作的晶圆具有尺寸稳定性,且可保持高度的平面度。这种特性使得硅晶圆可广泛应用于制造半导体器件。硅晶圆表现出良好的尺寸稳定性和平面度,这有助于提高电子器件制造的质量和效率。
三、硅晶圆为什么是圆的
因为制作工艺决定了它是圆形的。提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转生长出来的。多晶硅被融化后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,再将子晶放入坩埚中匀速转动并且向上提拉,则熔融的硅会沿着子晶向形成一个圆柱体的硅锭(ingot),然后硅锭再经过金刚线切割变成硅片,硅片经过打磨等处理后就可以进行后续的工序了。
单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,从而决定晶圆是圆形的。