上海微电子Smee
上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
SMEE致力于以极致服务，造高端产品，创卓越价值，全天候、多方位、全身心地为顾客提供优质产品和技术服务。
SMEE已通过ISO27001信息安全、ISO9001质量管理和ISO14001环境管理等体系的国际认证，力求为客户提供持续、稳定、高品质的产品和服务，并履行一个优秀的高科技企业的社会责任。
| 专利号/专利申请号 | 专利名称 | 专利详情 |
| ZL201310747393.8 | 一种调焦调平装置 | 第二十届中国专利优秀奖（2018年） |
| ZL201410857409.5 | 一种硅片边缘保护装置 | 第二十届中国专利优秀奖（2018年） |
| ZL201110241791.3 | 一种步进光刻设备及光刻曝光方法 | 第二十一届中国专利优秀奖（2019年） |
| 标准号 | 标准名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准详情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成电路制造设备术语 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | |
光刻机
半导体设备