江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”,股票代码688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。
公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖光伏、LED、集成电路,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。2022年12月23日,公司成功登陆上交所科创板。
自成立以来,公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入,已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。公司产品用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节,具备优良的产能提升能力与产品性能,在保障光电转换效率的同时,有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。
在此基础上,公司继续深化开发对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备,是成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司,设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平,并已获得客户重复订单认可。
公司也是国内能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上技术问题的专用设备厂商之一,具备承担下一代光伏电池设备和半导体设备研发及产业化项目的技术储备和人才基础。公司将持续围绕市场需求,深化自主创新,加快核心技术攻关,进一步拓展并薄膜沉积技术的应用领域,推动高端技术装备的国产化、产业化,力争成为世界微纳制造装备领军企业。